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铭濠净化的无隔板高效过滤器

铭濠净化的无隔板高效过滤器

作者:铭濠净化    来源:http://www.mhclean.com/    发布时间:2020-02-12 01:28    浏览量:

  当今洁净工程中最为常见的高效过滤器品种。用于所有级别的洁净室的末端过滤。洁净工作台的过滤。无隔板高效过滤器已经替代了大部分传统的有隔板高效过滤器。

铭濠净化的无隔板高效过滤器

  根据过滤器的效率分为以下几种规格:1、普通HEPA过滤器的效率≥99.97%(0.3μm粒子,或者DOP法.钠焰法);2、ULPA过滤器的过滤效率≥99.999%(MPPS法,0.1-0.2μm粒子扫描,0.12μm粒子)。

  尺寸规格:边框长度为203/305/610/762/915/1219/1524/1829mm,其中最为常见的尺寸为610mm*610mm和1219mm*610mm;过滤器的厚度为60mm~90mm。

  过滤材料:玻璃纤维滤纸,聚四氟乙烯附膜滤纸(新材料,尚未普及)。

  外框材料:无隔板高效过滤器采用的材料是铝型材,不锈钢。

  滤纸间分隔物:热熔胶,丝线,玻璃纤维纸条。

  检测测试:出厂前必须经过单台性能检验测试,国际流行方法是使用激光粒子计数器进行扫描检测。试验风速为0.45m/s时,过滤器的各点风速波动不应大于正负百分之二十。用于线宽≤0.5μm的芯片厂时,过滤器无明显释气,检测时不使用液态粉末。

  新国标分类与CRAA分类和国外分类的主要差别在于:

  1、99.9%的过滤器归入“高效”,这种规定是全世界的唯一。相比之下其他标准规定的最低效率为99.97%(各种方法)或者99.95%(MPPS)。国内主流过滤器制造商高效过滤器不包括99.9%这种规格,国内所有设计院和绝大多数的用户也不认为99.9%是“高效”。

  2、全世界唯一规定使用钠焰法检测无隔板高效过滤器

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